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时间:2024-11-11浏览次数:40
1、异质集成结合硅基光电子技术和III-V材料外延生长,实现不同芯片工艺紧密融合,如TSV、晶圆级微光学三维打印、芯片堆叠和先进基板结合,实现多芯片模块集成。